第六十七章 紅外探測(cè)器濾光膜的研究與制備
- 分類：工藝講堂
- 作者：工藝研發(fā)中心
- 來(lái)源：成都國(guó)泰真空設(shè)備有限公司
- 發(fā)布時(shí)間：2024-09-02
- 訪問(wèn)量：1000
【概要描述】本期主要針對(duì)紅外探測(cè)器濾光膜進(jìn)行研究，采用電子束蒸發(fā)和離子輔助沉積技術(shù)，通過(guò)對(duì)ZnS和YbF3光學(xué)特性的研究，以及對(duì)工藝參數(shù)如烘烤溫度、離子源、膜厚控制等參數(shù)的優(yōu)化，解決了藍(lán)寶石基底上膜層牢固性及1.6~1.7μm之間的平均透過(guò)略高等問(wèn)題。經(jīng)測(cè)試薄膜能夠承受惡劣工作環(huán)境的考驗(yàn)，基本滿足了探測(cè)器的使用要求。
第六十七章 紅外探測(cè)器濾光膜的研究與制備
【概要描述】本期主要針對(duì)紅外探測(cè)器濾光膜進(jìn)行研究，采用電子束蒸發(fā)和離子輔助沉積技術(shù)，通過(guò)對(duì)ZnS和YbF3光學(xué)特性的研究，以及對(duì)工藝參數(shù)如烘烤溫度、離子源、膜厚控制等參數(shù)的優(yōu)化，解決了藍(lán)寶石基底上膜層牢固性及1.6~1.7μm之間的平均透過(guò)略高等問(wèn)題。經(jīng)測(cè)試薄膜能夠承受惡劣工作環(huán)境的考驗(yàn)，基本滿足了探測(cè)器的使用要求。
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本期主要分享團(tuán)隊(duì)成功研制紅外探測(cè)器濾光膜的實(shí)例，以供大家參考。
1.材料選擇及膜系結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
2.薄膜的制備
3.測(cè)試與分析
4.總結(jié)
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