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GTRF-17、GTRF-23射頻離子源

GTRF-17、GTRF-23射頻離子源

GTRF-17、GTRF-23射頻離子源

國泰真空全自主研發(fā)設(shè)計制造的GTRF-17和GTRF-23射頻離子源主要用于精密光學(xué)鍍膜,它具有能量高、能量分布均勻性好、工作時間長、污染小等優(yōu)點,在鍍膜領(lǐng)域的主要應(yīng)用是離子束輔助沉積和離子束清洗等。
產(chǎn)品咨詢電話:400-6667-357
GTRF-17、GTRF-23射頻離子源
產(chǎn)品介紹

設(shè)備簡介:

國泰真空全自主研發(fā)設(shè)計制造的GTRF-17和GTRF-23射頻離子源主要用于精密光學(xué)鍍膜,它具有能量高、能量分布均勻性好、工作時間長、污染小等優(yōu)點,在鍍膜領(lǐng)域的主要應(yīng)用是離子束輔助沉積和離子束清洗等。

 

設(shè)備主要規(guī)格參數(shù):

型號 GTRF-17 GTRF-23

柵網(wǎng)直徑(mm

170 230

BEAM電流(mA

1500 2000

BEAM電壓(V 

1500 1500

ACC電壓(V

1500 1500

中和比E/B%

100-200 100-200

  源頭GAS1-O?sccm  

0-100 0-100

源頭GAS2-Ar sccm

0-50 0-50

中和器GAS3 -Arsccm

5-20 5-20

連續(xù)使用時間(h

500

500

推薦使用機型

1150-1350

1350-2250

 

操作主界面:

 

工藝應(yīng)用:

IR-CUT曲線實測:

 

環(huán)境測試:

 

水煮15分鐘后,曲線無漂移

水煮后經(jīng)3M膠帶白格測試未發(fā)現(xiàn)脫膜

 

運行狀態(tài):

 

射頻離子源通過改進(jìn)能量和電流的均勻性,提高了膜層的堆積密度和材料的氧化度,從而抑制膜層的溫度漂移及波長漂移!同時解決了膜層牢固度和膜料折射率等問題。

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