GTRF-17、GTRF-23射頻離子源
GTRF-17、GTRF-23射頻離子源
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GTRF-17、GTRF-23射頻離子源
產(chǎn)品介紹
設(shè)備簡介:
國泰真空全自主研發(fā)設(shè)計制造的GTRF-17和GTRF-23射頻離子源主要用于精密光學(xué)鍍膜,它具有能量高、能量分布均勻性好、工作時間長、污染小等優(yōu)點,在鍍膜領(lǐng)域的主要應(yīng)用是離子束輔助沉積和離子束清洗等。
設(shè)備主要規(guī)格參數(shù):
型號 | GTRF-17 | GTRF-23 |
柵網(wǎng)直徑(mm) |
170 | 230 |
BEAM電流(mA) |
1500 | 2000 |
BEAM電壓(V) |
1500 | 1500 |
ACC電壓(V) |
1500 | 1500 |
中和比E/B(%) |
100-200 | 100-200 |
源頭GAS1-O?(sccm) |
0-100 | 0-100 |
源頭GAS2-Ar (sccm) |
0-50 | 0-50 |
中和器GAS3 -Ar(sccm) |
5-20 | 5-20 |
連續(xù)使用時間(h) |
≥500 |
≥500 |
推薦使用機型 |
1150-1350 |
1350-2250 |
操作主界面:
工藝應(yīng)用:
IR-CUT曲線實測:
環(huán)境測試:
水煮15分鐘后,曲線無漂移
水煮后經(jīng)3M膠帶白格測試未發(fā)現(xiàn)脫膜
運行狀態(tài):
射頻離子源通過改進(jìn)能量和電流的均勻性,提高了膜層的堆積密度和材料的氧化度,從而抑制膜層的溫度漂移及波長漂移!同時解決了膜層牢固度和膜料折射率等問題。
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DLC碳膜機
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6位/16位晶控探頭
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