GTH-1150紅外鍍膜機
GTH-1150紅外鍍膜機
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GTH-1150紅外鍍膜機
產(chǎn)品描述
GTH系列紅外光學真空鍍膜設備適用于在Ge,Si, ZnSe, ZnS, 各類硫系玻璃等基材上鍍膜。包括：增透膜，濾色片，分光膜，保護膜等。具有光譜重復性好，薄膜吸收小及膜層附著力良好的特點。
設備特點：
· 腔體尺寸φ900-φ1600mm
· 使用GTHC-8型空心陰極霍爾離子源
· 搭載單電子槍/環(huán)形坩堝和多點阻蒸
· ACS全自動鍍膜控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動鍍膜過程
· 工件架可選擇球傘式、行星式
· 排氣系統(tǒng)低真空泵組+高真空泵組+深冷
| 真空腔室尺寸 | SUS304 φ1150mmx1300mm（H） |
| 工件盤有效鍍膜尺寸 | φ1042mm、行星訂購時說明 |
| 基板回轉(zhuǎn)速度 | 3r/min-30r/min(可變) |
| 晶振膜厚儀 | XTC-3/MXC-3+6/16點晶控 |
| 蒸發(fā)源1 | 6/8位旋轉(zhuǎn)阻蒸、3位獨立阻蒸 |
| 蒸發(fā)源2 | E型電子槍1套 |
| 離子源 | GTHC-8 |
| 真空排氣 | 機械泵+分子泵/低溫泵/+深冷捕集泵 |
| 極限真空 | 8.0x10-5Pa |
| 排氣時間 | 大氣-3.0x10-3Pa/12min/常溫空載 |
| 基板溫度 | 最高350℃ |
| 空間要求 | 約2.7m（寬）x4.6m（深）x2.7m（高） |
| 電源要求 | 3相4線380v50Hz、約60kw |
| 冷卻水要求 | 100L/min、0.2-0.4MPa、18-25℃ |
| 壓縮空氣 | 0.6MPa |
| 設備重量 | 約4500kg |
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GTH-1600紅外鍍膜機
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