GTV-2700光學(xué)真空鍍膜機
GTV-2700光學(xué)真空鍍膜機
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GTV-2700光學(xué)真空鍍膜機
產(chǎn)品描述
GTV系列光學(xué)真空鍍膜設(shè)備可用于濾光片、常規(guī)AR-玻璃、常規(guī)AR-樹脂類等膜產(chǎn)品的量產(chǎn)。
設(shè)備特點：
· 腔體尺寸φ600-φ2700mm
· 60點間接光學(xué)厚度監(jiān)視器或直接光控
· 高離子流密度射頻離子源
· 雙電子槍，多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
· ACS全自動鍍膜控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動鍍膜過程
· 工件架可選擇球傘式、行星式或翻轉(zhuǎn)式
· 排氣系統(tǒng)低真空泵組+高真空泵組+深冷
| 真空腔室尺寸 | SUS304 φ2700mmx1600mm（H） |
| 工件盤有效鍍膜尺寸 | φ2610mm |
| 基板回轉(zhuǎn)速度 | 3r/min-30r/min(可變) |
| 光學(xué)膜厚監(jiān)控 |
間接監(jiān)控（反射式） 波長范圍：350nm-1100nm 監(jiān)控點數(shù)量：60位 直接監(jiān)控 波長范圍：350nm-1100nm |
| 晶振膜厚儀 | MXC-3B+6點晶控 |
| 蒸發(fā)源 | 傳統(tǒng)阻蒸1套或多套、E型電子槍2套 |
| 離子源 | GTHC8x2/GTHA8x2 |
| 真空排氣 | 機械泵+分子泵/低溫泵/+深冷捕集泵 |
| 極限真空 | 8.0x10-5Pa |
| 排氣時間 | 大氣-3.0x10-3Pa/12min/常溫空載 |
| 基板溫度 | 最高350℃ |
| 空間要求 | 約4.4m（寬）x6m（深）x2.8m（高） |
| 電源要求 | 3相4線380v50Hz、約100kw |
| 冷卻水要求 | 160L/min、0.3-0.5MPa、18-25℃ |
| 壓縮空氣 | 0.6MPa |
| 設(shè)備重量 | 約15000kg |
上一個
無
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