第六十九章 紅外探測器三波段高通濾光膜的研制
- 分類：工藝講堂
- 作者：工藝部研發(fā)中心
- 來源：成都國泰真空設(shè)備有限公司
- 發(fā)布時間：2024-10-31
- 訪問量：1000
【概要描述】本期主要分享團隊成功研制紅外探測器三波段高通濾光膜的實例。采用電子束真空鍍膜的方法加以離子輔助，優(yōu)化鍍膜工藝參數(shù)如烘烤溫度、蒸發(fā)速率、離子源、真空度等，改進監(jiān)控方法，減少膜厚控制誤差，并點解決了ZnS基底上膜層牢固耐久性與膜系的吸收和散射損耗問題，所鍍制的薄膜滿足紅外探測器的性能要求以及使用環(huán)境要求
第六十九章 紅外探測器三波段高通濾光膜的研制
【概要描述】本期主要分享團隊成功研制紅外探測器三波段高通濾光膜的實例。采用電子束真空鍍膜的方法加以離子輔助，優(yōu)化鍍膜工藝參數(shù)如烘烤溫度、蒸發(fā)速率、離子源、真空度等，改進監(jiān)控方法，減少膜厚控制誤差，并點解決了ZnS基底上膜層牢固耐久性與膜系的吸收和散射損耗問題，所鍍制的薄膜滿足紅外探測器的性能要求以及使用環(huán)境要求
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本期主要分享團隊成功研制紅外探測器三波段高通濾光膜的實例，以供大家參考。
1.材料選擇及膜系結(jié)構(gòu)設(shè)計
1.1基底的選擇
選擇材料的必要條件是：透明區(qū)間寬、吸收損耗小、應(yīng)力匹配好等。因此，基底要具有穩(wěn)定的光學(xué)性能和機械性能。一般來說，在3μm~5μm波段高折射率材料比較容易獲得，如Si、Ge、ZnS都是在中遠紅外區(qū)優(yōu)良的基底材料。但Si和Ge在可見區(qū)以及近紅外區(qū)域不透明，具有較強的光能量吸收，容易造成薄膜器件的發(fā)熱和破壞，對其性能會產(chǎn)生不利的影響。因此選用ZnS作為基底，ZnS具有良好的折射率均勻性，并且在中紅外波段也有較高的透過率。
2.薄膜的制備
3.測試與分析
4.總結(jié)
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