設(shè)備型號(hào):臥式連續(xù)生產(chǎn)線

設(shè)備簡(jiǎn)介

該生產(chǎn)線應(yīng)用了納米材料薄膜技術(shù)、真空磁控濺射技術(shù)、新智能自動(dòng)化控制總線等技術(shù)，使用了新型的平面磁控陰極。同一般鍍膜生產(chǎn)線相比，融匯了更多高新技術(shù)，有效克服了以往許多生產(chǎn)線的不足，顯著提高了設(shè)備的穩(wěn)定性和性價(jià)比，使設(shè)備更合理更人性化。鍍膜腔室采用單元式結(jié)構(gòu),可根據(jù)不同工藝需求，可靈活調(diào)整陰極和和泵組位;靈活的陰極擋板結(jié)構(gòu)，節(jié)約了更換靶材及清理工序的周期;高質(zhì)量國(guó)產(chǎn)化品牌元器件的使用不僅降低了設(shè)備制造成本和使用成本，也減少了設(shè)備故障恢復(fù)時(shí)間和成本，降低了客戶對(duì)該設(shè)備的使用成本和技術(shù)要求。

設(shè)備特點(diǎn)

1、整條生產(chǎn)線為臥式水平輸送結(jié)構(gòu)，生產(chǎn)方式為連續(xù)-次性生產(chǎn)。

2、真空箱體的模塊化設(shè)計(jì)和加工，提高了部件的互換性。

3、配置了性能優(yōu)良的陰極和電源，提高了陰極工作的穩(wěn)定性和生產(chǎn)效率。

4、配置了獨(dú)立控制的工藝氣體，采用二進(jìn)制的5段送氣，提高了工藝氣體的均勻性，提高了膜層橫向的均勻性。

5、采用先進(jìn)的分子泵抽氣系統(tǒng)，杜絕真空室油污染，運(yùn)行高效可靠。

6、采用了抽氣腔和陰極腔隔離結(jié)構(gòu)，分子泵、陰極獨(dú)立布置，氣體隔離效果好。